مقاله سیستم های نانو الکترومکانیک

مقاله سیستم های نانو الکترومکانیک محققان با استفاده از مواد و فرآيندهاي ميكروالكترونيك مدت هاست كه كنترل پرتوها، چرخ دنده ها و پوسته هاي ماشين هاي ميكروسكوپي را انجام داده اند كه اين عناصر مكانيكي و مدارهاي ميكروالكترونيكي كه آن ها را كنترل مي كنند را به طور كل سيستم هاي ميكروالكترومكانيك يا MEMS خوانده اند. در تكنولوژي امروزي MEMS براي انجام اموري در تكنولوژي مدرن مانند باز و بسته كردن دريچه ها، ( سوپاپ ها) چرخاندن آينه ها و تنظيم جريان الكتريسيته و يا جريان نور بكار گرفته مي شود. امروزه كمپاني هاي متعددي از غول هاي نيمه هادي گرفته تا راه اندازي هاي كوچك مي خواهند ابزار MEMS را براي طيف گسترده اي از مشتريان توليد كنند. با تكنولوژي ميكروالكترونيك كه هم اكنون تا حد ريز ميكرون پيش رفته است زمان آن رسيده كه كشفيات متمركز NEMS را آغاز كنيم.

بنابراین در این مطلب از فروشگاه مارکت فایل به ارائه سیستم های نانو الکترومکانیک در قالب 93 صفحه می‌پردازیم.

1- مقدمه: 5

2– ويژگي هاي NEMS: 13

فركانس 15

4-2 مشخصه عملكرد توان عملياتي 18

5-2 پاسخ گويي ( واكنش پذيري) 19

6–2 دامنه ديناميك موجود 21

7-2 تودة فعال: 27

3- چالش هاي اصولي 27

2-3 نويز فاز: 34

4-3 ساخت نانوقابل توليد مجدد 43

4- كاربرد پديد آمده ( آغازين) 44

5- بررسی NEMS: 51

6- سیستم تشدیدگر SET- نانومکانیکی: 63

سيستم هاي نانوالكترومكانيك (NEMS) در جوامع علمي و تكنيكي مورد توجه زيادي بوده اند. اين دسته از سيستم ها كه بسيار شبيه به سيستم هاي ميكروالكترومكانيك هستند در انواع حالات تشديد شده خود با ابعادي در سابميكرون عميق عمل مي كنند. سيستم در اين محدوده، داراي فركانس هاي رزونانس بسيار، توده هاي فعال تحليل يافته و ثبات نيروي پايداري باشند؛ ضريب كيفيت تشديد اين سيستم در رنج Q  lo3-105 بسيار بالاتر از دسته ديگر مدارهاي تشديدي الكتريكي مي باشند. اين سيستم در NEMS براي دسته بسياري از كاربردهاي تكنولوژي مانند سنسور فراسريع، دستگاه راه اندازي، و اجزاي پردازش سيگنال مهيا مي سازد.

شكل 1 خانوادة NEMS نيمه رسانا را نشان داده و مراحل توليد ساخت كلي آن را مطرح مي كند. اين فرآيند براي طراحي آزادانه ساختارهاي نيمه رساناي نانومتر به عنوان نانوماشين سطحي مي باشدكه نقطة مخالف ميكروماشين بالك MEMS مي باشد اين تكنيك ها براي سيلكون بر ساختارهاي عايق،  گاليوم آرسنايد روي سيستم هاي آلومينيوم گاليوم، كاربيد سيلكون برسيليكون، نيتريد آلومينوم بر سيليكون، لايه هاي الماس          نانو بلوري و لايه هاي نيتريد سيلكون نامنظم بكار گرفته مي شود. اكثر اين مواد با درجه خلوص زياد وجود دارد كه با كنترل دقيق ضخامت لايه اي رشد كرده اند.

اين قسمت دوم (كيفيت كنترل لايه اي) كنترل ابعادي در بعد عمودي در سطح تك لايه اي را كنترل مي كند. اين مقوله كاملا منطبق با دقت ابعادي جانبي ليتوگرافي  پرتوالكتروني است كه به مقياس اتمي نزديك مي شود.

NEMS داراي ويژگي هاي چشمگيري مي باشد. آن ها دسترسي به فضاي پارامتري را كه غير پيش بيني است را فراهم مي كنند؛ فركانس هاي مقاومت تشديدي در ميكرويو، ضريب كيفيت مكانيكي در دهها هزار، توده هاي فعال در femtogram، ظرفيت گرمايي پايين تر از يوكتوكالري و …

اين ويژگي ها تصورات و سيل افكار براي تجربيات و آزمايشات هيجان انگيز را بوجود مي آورد و در عين حال تعداد زيادي سؤالات غيرقابل پيش بيني و نگرهايي هاي بيشماري را نيز بدنبال دارد از جمله اين سؤالات: چگونه مبدل ها در مقياس نانو مشخص مي شوند؟ چگونه ويژگي هاي سطحي كنترل مي گردد؟